激光精密加工技术以其高精度、高效率和低成本的特点，在硬脆材料的加工中得到了广泛应用。激光束由聚焦透镜聚焦后照射在工件表面上，高能量密度使工件被聚焦光斑照射的区域瞬间汽化或熔化，同时通过辅助喷吹将渣粉吹掉，形成光滑的狭缝。

在硬脆材料的加工中，紫外激光因其短波长和高能量密度，能够实现高精度切割和平滑切割，大大提高成品率。例如，在蓝宝石和白光LED产业的带动下，蓝宝石衬底晶圆切割需求大幅增加。紫外激光切割技术能够实现0.02mm的超高精度，切割表面非常光滑，速度比手工加工快得多。此外，紫外激光切割硅片也能实现高精度切割，提高成品率。